Bor nitritining kimyoviy bug 'fazasini sintezi

1979 yilda Sokolovskiy past harorat va past bosimda kubik bor nitridi (CBN) plyonkalarini tayyorlash uchun impulsli plazma texnologiyasidan muvaffaqiyatli foydalangan. Amaldagi uskunalar sodda va jarayonni amalga oshirish oson, shuning uchun u tez ishlab chiqilgan. Bug'larni cho'ktirishning turli usullari paydo bo'ldi. An'anaviy ravishda bu asosan termik kimyoviy bug 'cho'ktirishga tegishli. Tajriba qurilmasi odatda issiqqa chidamli kvarts trubkasi va isitish moslamasidan iborat. Substratni isitish pechkasi (issiq devorli CVD) yoki yuqori chastotali induksion isitish (sovuq devorli CVD) bilan isitish mumkin. Reaksiya gazi yuqori haroratli substrat yuzasida parchalanadi va shu bilan birga plyonkani yotqizish uchun kimyoviy reaktsiya paydo bo'ladi. Reaksiya gazi BCl aralash gazidir₃ yoki B₂H₄va NH₃.