KREMNIY KARBID KONSOL SHLACHI
Qo'llash sohalari: Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sanoatida silikon gofretlarning termal o'sishi va oksidlanishini amalga oshirish uchun ishlatiladigan diffuziya pechlarida va yuqori haroratli oksidlanish diffuziya pechlarida, kantilever qayiq gofret va o'choq trubkasi bir xilligini ta'minlash uchun gofret yuklash tizimining asosiy komponenti hisoblanadi. bir xil diffuziya va oksidlanish. Silikon karbidli konsolli eshkaklar yuqori quvvat, yuqori tozalik, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, g'ovakligi yo'qligi, kislota va gidroksidi korroziyaga chidamliligi, yuqori haroratlarda ifloslanishning yo'qligi, yaxshi termal zarba barqarorligi va yuqori yuklash qobiliyati bilan ajralib turadi. LPCVD qoplamalariga o'xshash termal kengayish koeffitsienti bilan birgalikda, LPCVD-larda kremniy karbid kantilever eshkaklaridan foydalanish texnik tozalash davrlarini sezilarli darajada uzaytirishi va ifloslanishni sezilarli darajada kamaytirishi mumkin.
Ta'rif
Silikon karbid suspenziyasining asosiy afzalliklaridan biri uning izchil va bir xil natijalarni berish qobiliyatidir. Atlama silliq ishlov berish va mukammal sirt sifatini ta'minlashga qodir, ishlov beriladigan qismlar tirnalgan, yoriqlar yoki boshqa nuqsonlarsiz bo'lishini ta'minlaydi.
Silikon karbid suspenziyasi atalasining yana bir afzalligi shundaki, u ekologik toza. Atlama tarkibida xavfli birikmalar yoki zaharli kimyoviy moddalar mavjud emas, bu uni ishlatish va yo'q qilishni xavfsiz qiladi.
Bundan tashqari, kremniy karbid suspenziyasi atamasi yuqori tejamkor hisoblanadi, chunki u materialning isrof qilinishi va ishlov berish vaqtini sezilarli darajada kamaytiradi. Bulamaç an'anaviy silliqlash va abraziv texnikaga qaraganda materialni tezroq olib tashlashga qodir, bu esa ishlab chiqarish jarayonining samaradorligini oshiradi.
